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真空過濾器是將從大氣中吸入的污染物（主要是塵埃）收集起來，以防止真空系統(tǒng)中的元件受污染而出現(xiàn)故障。故吸盤與真空發(fā)生器（或真空閥）之間，應(yīng)設(shè)置真空過濾器。真空發(fā)生器的排氣口、真空閥的吸氣口（或排氣口）和真空泵的排氣口也都應(yīng)裝上消聲器，這不僅降低噪聲而且能起過濾作用，以提高真空系統(tǒng)工作的可靠性。
對真空過濾器的要求是，濾芯污染程度的確認簡單，清掃污染物容易，結(jié)構(gòu)緊湊，不致使真空達到時間增長。
真空過濾器安裝時，注意進出口方向不得裝反。配管不得有泄漏。維修時，密封件不得損傷。過濾器進口壓力不要超過0.5MPa，這可靠調(diào)節(jié)閥和節(jié)流閥來保證。真空過濾器內(nèi)流速不大，空氣中的水分不會凝結(jié)。
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